出願番号

特許出願2003−312002

公開番号

特許公開2005−52810

出願人

有限会社情報科学研究所

発明の名称

酸化及び還元コロイド法に基づく原子価変換方式による物質の洗浄技術

出願日

2003年7月31日

公開日

2005年3月3日

発明者

上村 親士

要約

(修正有)
【課題】 洗浄したシリコン基板等に付着する汚染物質の再付着を抑える。
【解決手段】超純水装置7と酸化コロイド製造装置8と還元コロイド製造装置9とを備えた洗浄システムにおいて、通常の酸アルカリ処理を終了した洗浄物を、酸化コロイド中での酸化処理と超音波洗浄工程1、酸化コロイド中での原子価変換工程2、還元コロイド中での変換元素の完全溶解工程3、還元コロイド中での原子価変換工程4、還元コロイド中での原子価変換元素溶解工程5及び汚染物質及び微生物再付着防止仕上溶解工程6の6つの工程で処理する。

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